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基于介質(zhì)調(diào)制的復(fù)合源場板異質(zhì)結(jié)場效應(yīng)晶體管

15612020/06/03
基本信息
  • 成果類型 高等院校
  • 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
  • 成果持有方 西安電子科技大學(xué)
  • 行業(yè)領(lǐng)域 電子元器件
  • 項目名稱 基于介質(zhì)調(diào)制的復(fù)合源場板異質(zhì)結(jié)場效應(yīng)晶體管
  • 知識產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專利
  • 項目簡介 本發(fā)明公開了一種基于介質(zhì)調(diào)制的復(fù)合源場板異質(zhì)結(jié)場效應(yīng)晶體管,主要解決現(xiàn)有場板技術(shù)在實現(xiàn)高擊穿電壓時工藝復(fù)雜的問題。其包括:襯底(1)、過渡層(2)、勢壘層(3)、源極(4)、漏極(5)、臺面(6)、鈍化層(9)和保護(hù)層(13);源極與漏極之間的勢壘層內(nèi)刻有柵槽(7),柵槽(7)內(nèi)淀積有柵極(8),柵極與漏極之間的鈍化層(9)內(nèi)刻有凹槽(10),凹槽(10)內(nèi)完全填充有高介電常數(shù)介質(zhì)(11),鈍化層(9)與保護(hù)層(13)之間淀積有源場板(12),該源場板與源極電氣連接,源場板(12)與高介電常數(shù)介質(zhì)(11)構(gòu)成復(fù)合源場板。本發(fā)明具有制作工藝簡單、擊穿電壓高、場板效率高、可靠性高和成品率高的優(yōu)點。
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交易信息
  • 意向交易額 面議
  • 掛牌時間 2021/06/03
  • 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
  • 聯(lián)系人姓名 王小剛
  • 聯(lián)系人電話 15802954800
  • 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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